ככל שיצרני מוליכים למחצה ממשיכים לנוע לעבר טכנולוגיות אריזה מתקדמות, כולל שילוב שבבים, הדבקת שבבים כפולים וארכיטקטורות IC תלת-ממדיות, הצורך בתשתית קריוגנית אמינה ביותר הפך קריטי מתמיד. בסביבה זו, מערכות הבנויות סביבHL קריוגניצינור מצופה ואקום, צינור מבודד, מפריד, שסתום ותיבת שסתומים ממלאים תפקיד מהותי בשמירה על דיוק תרמי ויציבות תפעולית.

בקרה קריוגנית בקווי אריזה מדויקים

אריזת שבבים ובדיקות מודרניות כרוכות לעיתים קרובות בחשיפה לשינויי טמפרטורה קיצוניים, במיוחד במהלך מחזורי תרמיה, סינון אמינות ואפיון בטמפרטורה נמוכה. התפקיד העיקרי של קריוגני HLצינור מבודד ואקוםהיא לספק נוזל קריוגני, בדרך כלל חנקן נוזלי, תוך מזעור חדירת חום מסביבת החדר הנקי שמסביב.

הודות לרמת הוואקום הגבוהה ולעיצוב הבידוד הרב-שכבתי, ה-HL Cryogenicצינור ואקום במעילהמערכת מדכאת ביעילות דליפת חום, ושומרת על הנוזל במצב נוזלי יציב לאורך מרחקים ארוכים. זה מבטיח ביצועי קירור עקביים על פני מספר תחנות בדיקה, ומבטל סחף טמפרטורה שעלול להשפיע על נתוני ביצועי המוליכים למחצה.

בסביבות בדיקה רגישות לעייפות, אפילו תנודת טמפרטורה קלה יכולה להשפיע על דיוק המדידה. זו הסיבה שיותר ויותר מתקני בדיקה עוברים למערכות צינורות קריוגניות מבודדות בוואקום של HL כפתרון ארוך טווח לאספקה ​​קריוגנית יציבה.

יציבות פאזה מובטחת על ידימפריד פאזות

במהלך הפעולה, חלק מהנוזל הקריוגני מתאדה באופן בלתי נמנע כשהוא סופג חום סביבתי. HL קריוגנימפריד פאזותממלא תפקיד מכריע בהפרדת אדים מנוזל לפני שהוא מגיע לציוד הקריטי. זה מבטיח שרק נוזל מקורר ייכנס לתאי בדיקה רגישים ולתחנות בדיקה.

על ידי מניעת זרימה דו-פאזית, מפריד הפאזות הקריוגני HL משפר משמעותית את חזרתיות התהליך ומגן על רכיבי הבקרה במורד הזרם מפני חוסר יציבות בזרימה. חשיבות זו גוברת ככל שגיאומטריות המכשיר מצטמצמות וחלונות הסבילות הופכים קטנים יותר בטכנולוגיות צמתים מתקדמות.

בטיחות תפעולית מנוהלת על ידישַׁסתוֹםותיבת שסתומים

הזרימה והלחץ של נוזלים קריוגניים בתוך מערכת הצינורות הקריוגניים המצופה בוואקום של HL מווסתים באמצעות שסתומי קריוגניים של HL שתוכננו במיוחד. רכיבים אלה מתוכננים לפעול בצורה אמינה בטמפרטורות נמוכות במיוחד ובמעברים תרמיים מהירים.

כדי לשפר עוד יותר את בטיחות המערכת והנגישות, כל שסתום קריוגני HL ממוקם בתוך קופסת שסתום קריוגני HL מבודדת. קופסת השסתום מגנה על השסתום מפני חדירת לחות, מפחיתה הצטברות כפור ומאפשרת לטכנאים לבצע בדיקות והתאמות מבלי להפריע לאיזון התרמי של האזורים הסובבים.

תצורה קומפקטית ומודולרית זו מתיישבת היטב גם עם המגבלות המרחביות המחמירות הנפוצות במפעלי אריזה של מוליכים למחצה ובסביבות חדרים נקיים.

בחירה בתשתית חכמה עבור מתקני מוליכים למחצה מתקדמים

ככל שהתעשייה דוחפת לצפיפות אינטגרציה גבוהה יותר ותקני בדיקה תובעניים יותר, תשתית קריוגנית כבר אינה שיקול משני. יצרני מוליכים למחצה שמשקיעים בצינורות מבודד ואקום של HL Cryogenic, HL Cryogenicצינור ואקום במעיל, מפריד, שַׁסתוֹם, ותיבת שסתומיםמערכות משיגות יתרונות מדידים ביעילות, בטיחות ובקרת עלויות לטווח ארוך.

בסביבות ייצור תחרותיות, יציבות הרשת הקריוגנית יכולה בסופו של דבר להשפיע על תפוקת המוצר, על אורך חיי הציוד ועל העקביות התפעולית - מה שהופך את פתרונות הקריוגניה של HL לחלק חיוני מתשתית המוליכים למחצה.