מארזי ופתרונות למוליכים למחצה ושבבים

חברת HL Cryogenic Equipment מספקת ללקוחותיה מערכת צנרת מבודדת בוואקום כדי לעמוד בדרישות ובתנאים של תעשיית המוליכים למחצה והשבבים:

1. מערכת ניהול איכות: קוד צנרת לחץ ASME B31.3.

2. מפריד פאזות מיוחד עם כניסת ויציאת נוזלים קריוגניים מרובים עם פונקציית בקרה אוטומטית עומד בדרישות פליטת גז, חנקן נוזלי ממוחזר וטמפרטורת חנקן נוזלי.

3. תכנון פליטה הולם ובזמן מבטיח שציוד הקצה יעבוד תמיד במסגרת ערך הלחץ המתוכנן.

4. מחסום הגז-נוזל ממוקם בצינור VI האנכי בקצה צינור VI. מחסום הגז-נוזל משתמש בעיקרון איטום הגז כדי לחסום את החום מקצה צינור VI לתוך צנרת VI, ולהפחית ביעילות את אובדן החנקן הנוזלי במהלך שירות לא רציף ולסירוגין של המערכת.

5. צנרת VI הנשלטת על ידי סדרת שסתומי בידוד ואקום (VIV): כולל שסתום כיבוי מבודד ואקום (פנאומטי), שסתום אל-חזור מבודד ואקום, שסתום ויסות מבודד ואקום וכו'. ניתן לשלב סוגים שונים של VIV באופן מודולרי כדי לשלוט על ה-VIP לפי הצורך. VIV משולב עם ייצור VIP מראש על ידי היצרן, ללא טיפול מבודד באתר. ניתן להחליף בקלות את יחידת האטימה של VIV. (HL מקבלת את מותג השסתומים הקריוגניים שצוינו על ידי הלקוחות, ולאחר מכן מייצרת שסתומים בידוד ואקום על ידי HL. ייתכן שלא ניתן יהיה לייצר שסתומים בידוד ואקום ממותגים ודגמים מסוימים.)

6. ניקיון, אם ישנן דרישות נוספות לניקיון פני השטח של הצינור הפנימי. מומלץ ללקוחות לבחור צינורות נירוסטה BA או EP כצינורות פנימיים VIP כדי להפחית עוד יותר דליפות נירוסטה.

7. מסנן מבודד ואקום: נקו את הזיהומים האפשריים ושאריות קרח מהמיכל.

8. לאחר כיבוי או תחזוקה של מספר ימים או יותר, יש צורך לקרר מראש את צנרת VI ואת ציוד הקצה לפני כניסת נוזל קריוגני, על מנת למנוע היווצרות סיגי קרח לאחר כניסת נוזל קריוגני ישירות לצנרת VI ולציוד הקצה. יש לקחת בחשבון את פונקציית הקירור המוקדם בתכנון. היא מספקת הגנה טובה יותר לציוד קצה ולציוד תומך בצנרת VI כגון שסתומים.

9. מתאים למערכת צנרת מבודדת ואקום (גמישה) דינמית וסטטית כאחד.

10. מערכת צנרת גמישה (מבודדת בוואקום) דינמית: מורכבת מצינורות גמישים מסוג VI ו/או צינור VI, צינורות מגשר, מערכת שסתומים מבודדת בוואקום, מפרידי פאזות ומערכת משאבות ואקום דינמיות (כולל משאבות ואקום, שסתומי סולנואיד ומדי ואקום וכו'). ניתן להתאים אישית את אורך הצינור הגמיש מסוג VI בהתאם לדרישות המשתמש.

11. סוגי חיבור שונים: ניתן לבחור חיבור כידון ואקום (VBC) וחיבור מרותך. סוג VBC אינו דורש טיפול מבודד באתר.