תקציר של אפיטקסיית קרן מולקולרית (MBE)
הטכנולוגיה של Epitaxy קרן מולקולרית (MBE) פותחה בשנות ה-50 להכנת חומרי סרט דק מוליכים למחצה באמצעות טכנולוגיית אידוי ואקום. עם התפתחות טכנולוגיית ואקום אולטרה-גבוה, היישום של הטכנולוגיה הורחב לתחום מדעי המוליכים למחצה.
המניע של מחקר חומרים מוליכים למחצה הוא הביקוש להתקנים חדשים, שעשויים לשפר את ביצועי המערכת. בתורו, טכנולוגיית חומר חדשה עשויה לייצר ציוד חדש וטכנולוגיה חדשה. אפיטקסיית קרן מולקולרית (MBE) היא טכנולוגיית ואקום גבוה לצמיחת שכבה אפיטקסיאלית (בדרך כלל מוליכים למחצה). הוא משתמש בקרן החום של אטומי מקור או מולקולות המשפיעות על מצע גביש יחיד. מאפייני הוואקום האולטרה-גבוהים של התהליך מאפשרים מתכת במקום וצמיחה של חומרי בידוד על משטחי מוליכים למחצה שגדלו לאחרונה, וכתוצאה מכך ממשקים נטולי זיהום.
טכנולוגיית MBE
אפיטקסיית האלומה המולקולרית בוצעה בוואקום גבוה או אולטרה-גבוה (1 x 10-8Pa) סביבה. ההיבט החשוב ביותר של אפיטקסיה של קרן מולקולרית הוא קצב השקיעה הנמוך שלה, מה שבדרך כלל מאפשר לסרט לצמוח אפיטקסיאלי בקצב של פחות מ-3000 ננומטר לשעה. שיעור כה נמוך דורש ואקום גבוה מספיק כדי להשיג את אותה רמת ניקיון כמו שיטות שיקוע אחרות.
כדי לעמוד בוואקום האולטרה-גבוה המתואר לעיל, להתקן ה-MBE (תא Knudsen) יש שכבת קירור, ויש לשמור על סביבת הוואקום האולטרה-גבוה של תא הגידול באמצעות מערכת זרימת חנקן נוזלי. חנקן נוזלי מקרר את הטמפרטורה הפנימית של המכשיר ל-77 קלווין (-196 מעלות צלזיוס). סביבת הטמפרטורה הנמוכה יכולה להפחית עוד יותר את תכולת הזיהומים בוואקום ולספק תנאים טובים יותר להנחת סרטים דקים. לכן נדרשת מערכת סירקולציה ייעודית לקירור חנקן נוזלי כדי שציוד ה-MBE יספק אספקה רציפה וקבועה של חנקן נוזלי -196 מעלות צלזיוס.
מערכת סירקולציה לקירור חנקן נוזלי
מערכת מחזור קירור חנקן נוזלי ואקום כוללת בעיקר,
● מיכל קריוגני
● צינור עם מעיל ואקום ראשי וענף / צינור עם מעיל ואקום
● MBE מפריד פאזות מיוחד וצינור פליטה עם מעיל ואקום
● שסתומים שונים עם מעיל ואקום
● מחסום גז-נוזל
● מסנן עם מעיל ואקום
● מערכת משאבת ואקום דינמית
● קירור מראש וטיהור מערכת חימום חוזר
חברת HL Cryogenic Equipment שמה לב לדרישה של מערכת קירור חנקן נוזלי MBE, עמוד שדרה טכני מאורגן כדי לפתח בהצלחה מערכת מיזוג חנקן נוזלי MBE מיוחדת לטכנולוגיית MBE וסט שלם של בידוד ואקוםedמערכת צנרת, אשר שימשה במפעלים רבים, אוניברסיטאות ומכוני מחקר.
ציוד קריוגני של HL
HL Cryogenic Equipment אשר נוסד בשנת 1992 הוא מותג המזוהה עם Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company בסין. HL Cryogenic Equipment מחויבת לתכנון וייצור של מערכת צנרת קריוגנית מבודדת ואקום גבוה וציוד תמיכה נלווה.
למידע נוסף, בקר באתר הרשמיwww.hlcryo.com, או דוא"ל אלinfo@cdholy.com.
זמן פרסום: מאי-06-2021
