סיכום של אפיטקסיה של קרן מולקולרית (MBE)
טכנולוגיית האפיטקסיה של קרן מולקולרית (MBE) פותחה בשנות ה-50 כדי להכין חומרי שכבה דקה של מוליכים למחצה באמצעות טכנולוגיית אידוי בוואקום. עם התפתחות טכנולוגיית הוואקום הגבוה במיוחד, הורחב יישום הטכנולוגיה לתחום מדעי המוליכים למחצה.
המוטיבציה של מחקר חומרי מוליכים למחצה היא הדרישה למכשירים חדשים, אשר עשויים לשפר את ביצועי המערכת. בתורה, טכנולוגיית חומרים חדשה עשויה לייצר ציוד וטכנולוגיה חדשים. אפיטקסיה של קרן מולקולרית (MBE) היא טכנולוגיית ואקום גבוה לגידול שכבות אפיטקסיאליות (בדרך כלל מוליכים למחצה). היא משתמשת בקרן חום של אטומי או מולקולות מקור הפוגעות במצע גבישי יחיד. מאפייני הוואקום הגבוהים במיוחד של התהליך מאפשרים מטליזציה וגידול של חומרי בידוד באתר על משטחי מוליכים למחצה שגדלו לאחרונה, וכתוצאה מכך ממשקים ללא זיהום.
טכנולוגיית MBE
אפיטקסיה של קרן מולקולרית בוצעה בוואקום גבוה או בוואקום אולטרה-גבוה (1 x 10-8סביבת Pa). ההיבט החשוב ביותר של אפיטקסיה של קרן מולקולרית הוא קצב השקיעה הנמוך שלה, שבדרך כלל מאפשר לסרט לגדול אפיטקסיאלי בקצב של פחות מ-3000 ננומטר לשעה. קצב שקיעה נמוך שכזה דורש ואקום גבוה מספיק כדי להשיג את אותה רמת ניקיון כמו שיטות שקיעה אחרות.
כדי לעמוד בוואקום הגבוה במיוחד שתואר לעיל, למכשיר ה-MBE (תא קנודסן) יש שכבת קירור, וסביבת הוואקום הגבוהה במיוחד של תא הגידול חייבת להישמר באמצעות מערכת סירקולציה של חנקן נוזלי. חנקן נוזלי מקרר את הטמפרטורה הפנימית של המכשיר ל-77 קלווין (-196 מעלות צלזיוס). סביבת הטמפרטורה הנמוכה יכולה להפחית עוד יותר את תכולת הזיהומים בוואקום ולספק תנאים טובים יותר לשקיעת שכבות דקות. לכן, נדרשת מערכת סירקולציה ייעודית של קירור חנקן נוזלי עבור ציוד ה-MBE כדי לספק אספקה רציפה ויציבה של חנקן נוזלי בטמפרטורה של -196 מעלות צלזיוס.
מערכת קירור חנקן נוזלי במחזור
מערכת קירור חנקן נוזלי ואקום במחזור כוללת בעיקר,
● מיכל קריוגני
● צינור ואקום ראשי ומסתעף / צינור ואקום מצופה
● מפריד פאזות מיוחד של MBE וצינור פליטה במעיל ואקום
● שסתומים שונים עם מעיל ואקום
● מחסום גז-נוזל
● מסנן עם מעיל ואקום
● מערכת משאבות ואקום דינמית
● מערכת קירור מקדים וחימום מחדש
חברת HL Cryogenic Equipment שמה לב לביקוש למערכת קירור חנקן נוזלי MBE, ארגנה שדרה טכנית לפיתוח מוצלח של מערכת קירור חנקן נוזלי MBE מיוחדת לטכנולוגיית MBE ומערכת מלאה של בידוד ואקום.edמערכת צנרת, אשר נמצאת בשימוש במפעלים רבים, אוניברסיטאות ומכוני מחקר.
ציוד קריוגני HL
חברת HL Cryogenic Equipment, שנוסדה בשנת 1992, היא מותג הקשור לחברת Chengdu Holy Cryogenic Equipment בסין. HL Cryogenic Equipment מחויבת לתכנון וייצור של מערכות צנרת קריוגניות מבודדות בוואקום גבוה וציוד תמיכה נלווה.
למידע נוסף, אנא בקרו באתר הרשמיwww.hlcryo.com, או לשלוח דוא"ל אלinfo@cdholy.com.
זמן פרסום: 6 במאי 2021
