תקציר של אפיטקסיה של קרן מולקולרית (MBE)
הטכנולוגיה של אפיטקסיה של קרן מולקולרית (MBE) פותחה בשנות החמישים להכנת חומרי סרט דק מוליכים למחצה בטכנולוגיית אידוי ואקום. עם פיתוח טכנולוגיית ואקום גבוהה במיוחד, יישום הטכנולוגיה הורחב לתחום מדעי המוליכים למחצה.
המוטיבציה של מחקר חומרי מוליכים למחצה היא הביקוש למכשירים חדשים, העשויים לשפר את ביצועי המערכת. בתורו, טכנולוגיית חומרים חדשה עשויה לייצר ציוד חדש וטכנולוגיה חדשה. אפיטקסיה של קרן מולקולרית (MBE) היא טכנולוגיית ואקום גבוהה לצמיחת שכבה אפיטקסיאלית (בדרך כלל מוליכים למחצה). הוא משתמש בקרן החום של אטומי מקור או מולקולות המשפיעות על מצע גביש יחיד. מאפייני הוואקום הגבוהים במיוחד של התהליך מאפשרים מתכות וגידול במקום של חומרי בידוד על משטחי מוליכים למחצה שגדלו לאחרונה, וכתוצאה מכך ממשקים נטולי זיהום.
טכנולוגיית MBE
אפיטקסיה של הקורה המולקולרית בוצעה בוואקום גבוה או באקום גבוה במיוחד (1 x 10-8סביבה. ההיבט החשוב ביותר של אפיטקסיה של קרן מולקולרית הוא קצב ההפקדה הנמוך שלו, מה שמאפשר בדרך כלל לסרט לצמוח אפיטקסיאלי בקצב של פחות מ- 3000 ננומטר לשעה. קצב התצהיר נמוך כזה דורש ואקום מספיק גבוה בכדי להשיג אותה רמת ניקיון כמו שיטות התצהיר אחרות.
כדי לעמוד בוואקום הגבוה במיוחד שתואר לעיל, מכשיר ה- MBE לתא קנודסן） יש שכבת קירור, ויש לשמור על סביבת הוואקום הגבוהה במיוחד של תא הצמיחה באמצעות מערכת זרימת חנקן נוזלית. חנקן נוזלי מקרר את הטמפרטורה הפנימית של המכשיר ל 77 קלווין (-196 מעלות צלזיוס). סביבת הטמפרטורה הנמוכה יכולה להפחית עוד יותר את תוכן הזיהומים בוואקום ולספק תנאים טובים יותר להפקת סרטים דקים. לפיכך נדרשת מערכת זרימת קירור חנקן נוזלית ייעודית לציוד MBE לספק אספקה רציפה ויציבה של -196 מעלות צלזיוס חנקן נוזלי.
מערכת זרימת קירור חנקן נוזלית
מערכת זרימת קירור חנקן נוזלי ואקום כוללת בעיקר,
● טנק קריוגני
● צינור מעילי ואקום ראשי וענף ענף / צינור מעיל ואקום
● מפריד פאזות מיוחד של MBE וצינור פליטה מעיל ואקום
● שסתומים שונים של מעיל ואקום
● מחסום נוזלי גז
● פילטר מעיל ואקום
● מערכת משאבות ואקום דינאמית
● מערכת חימום מראש ומטה
חברת הציוד הקריוגני של HL הבחינה בביקוש של מערכת קירור חנקן נוזלי MBE, עמוד שדרה טכני מאורגן כדי לפתח בהצלחה מערכת שיתוף חנקן נוזלי מיוחד לטכנולוגיית MBE ומערך שלם של אינסודום ואקוםedמערכת צנרת, ששימשה במפעלים רבים, אוניברסיטאות ומכוני מחקר.
ציוד קריוגני HL
ציוד קריוגני HL שהוקם בשנת 1992 הוא מותג המזוהה עם חברת ציוד קריוגני קדוש צ'נגדו בסין. ציוד קריוגני HL מחויב לתכנון וייצור של מערכת צנרת קריוגנית מבודדת ואקום גבוהה וציוד תמיכה נלווה.
למידע נוסף אנא בקרו באתר הרשמיwww.hlcryo.com, או שלח דוא"ל לinfo@cdholy.comו
זמן ההודעה: מאי -06-2021
