מערכות קירור החנקן הנוזלי נמצאות בשימוש נרחב בתעשיית המוליכים למחצה ושבבים, כולל תהליך של,
- הטכנולוגיה של אפיטקסיה של קרן מולקולרית (MBE)
- מבחן השבב אחרי חבילת COB
מוצרים קשורים
סדרת צינורות מבודדים ואקום
סדרת צינור גמיש מבודד ואקום
מערכת משאבות ואקום דינאמית
סדרת מפרידי פאזה מבודדים בוואקום
סדרת שסתומים מבודדים ואקום
ציוד תמיכה במערכת צנרת
אפיטקסיה של קרן מולקולרית
הטכנולוגיה של אפיטקסיה של קרן מולקולרית (MBE) פותחה בשנות החמישים להכנת חומרי סרט דק מוליכים למחצה בטכנולוגיית אידוי ואקום. עם פיתוח טכנולוגיית ואקום גבוהה במיוחד, יישום הטכנולוגיה הורחב לתחום מדעי המוליכים למחצה.
HL הבחינה בביקוש של מערכת קירור חנקן נוזלי MBE, עמוד שדרה טכני מאורגן כדי לפתח בהצלחה מערכת שיתוף מיוחד של חנקן נוזלי MBE לטכנולוגיית MBE ומערכת שלמה של מערכת צנרת מבודדת ואקום, אשר שימשה בארגונים רבים, אוניברסיטאות ומכוני מחקר ו
הבעיות השכיחות של ענף המוליכים למחצה ושבבים כוללות,
- הלחץ של חנקן נוזלי לציוד מסוף (MBE). למנוע עומס יתר על עומס לחץ פגיעה בציוד מסוף (MBE).
- בקרות כניסת נוזלים קריוגניות מרובות
- הטמפרטורה של חנקן נוזלי לציוד מסוף
- כמות סבירה של פליטות גז קריוגניות
- (אוטומטי) מיתוג של קווי עיקריים וסניפים
- התאמת לחץ (צמצום) ויציבות VIP
- ניקוי הזיהומים האפשריים ושאריות הקרח מהטנק
- זמן מילוי של ציוד נוזלי מסוף
- חיבור מראש של צינור
- התנגדות נוזלית במערכת VIP
- אובדן בקרה של חנקן נוזלי במהלך שירות לא רציף של המערכת
הצינור המבודד בוואקום של HL (VIP) בנוי לקוד צנרת לחץ ASME B31.3 כסטנדרט. חוויה הנדסית ויכולת בקרת איכות להבטיח את היעילות והיעילות של מפעל הלקוח.
פתרונות
ציוד קריוגני HL מספק ללקוחות את מערכת הצנרת המבודדת בוואקום שתעמוד בדרישות והתנאים של ענף המוליכים למחצה ושבבים:
1. מערכת ניהול איכות: ASME B31.3 קוד צנרת לחץ.
2. מפריד שלב מיוחד עם כניסת נוזלים קריוגניים מרובים ושקע עם פונקציית בקרה אוטומטית עומד בדרישה של פליטת גז, חנקן נוזלי ממוחזר וטמפרטורת חנקן נוזלי.
3. תכנון פליטה מתאים ומתוזמן מבטיח שציוד מסוף תמיד יעבוד בערך הלחץ המעוצב.
4. מחסום נוזלי הגז ממוקם בצינור ה- VI האנכי בקצה צינור ה- VI. מחסום נוזלי גז משתמש בעקרון חותם הגז כדי לחסום את החום מקצה צינור ה- VI לצנרת VI, ולהפחית ביעילות את אובדן החנקן הנוזלי במהלך שירות בלתי רציף וסירוגין של המערכת.
5. צנרת VI הנשלטת על ידי סדרת השסתום המבודד (VIV) של Viv: כולל שסתום כיבוי מבודד ואקום (פנאומטי), שסתום בדיקה מבודד ואקום, שסתום ויסות מבודד ואקום וכו ' דָרוּשׁ. VIV משולב עם טרומי VIP אצל היצרן, ללא טיפול מבודד באתר. ניתן להחליף את יחידת החותם של VIV בקלות. (HL מקבלת את מותג השסתום הקריוגני המיועד על ידי הלקוחות, ואז מבצע שסתומים מבודדים ואקום על ידי HL. כמה מותגים ודגמי שסתומים עשויים שלא להיות יכולים להיות יכולים להתבצע לשסתומים מבודדים ואקום.)
6. ניקוי, אם יש דרישות נוספות לניקיון פני הצינור הפנימי. מוצע שלקוחות יבחרו בצינורות נירוסטה של BA או EP כצינורות פנימיים VIP כדי להפחית עוד יותר את שפיכת הנירוסטה.
7. פילטר מבודד VACUUM: נקה את הזיהומים האפשריים ואת שאריות הקרח מהמיכל.
8. לאחר כיבוי או תחזוקה ארוכים יותר או תחזוקה, יש צורך מאוד לחפש מראש את צנרת ה- VI וציוד הטרמינל לפני כניסת נוזל קריוגני, כדי להימנע מסייג קרח לאחר שנוזל קריוגני נכנס ישירות לצנרת VI וציוד מסוף. יש לקחת בחשבון את פונקציית המיקום המוקדם בעיצוב. זה מספק הגנה טובה יותר לציוד מסוף וציוד תמיכה בצנרת VI כמו שסתומים.
9. חליפה למערכת צנרת דינמית וגם סטטית מבודדת (גמישה).
10. מערכת צנרת מבודדת ואקום דינאמי (גמישה): מורכבת מצינורות גמישים ו/או צינור VI, צינורות מגשר, מערכת שסתום מבודדת ואקום, מפרידי פאזות ומערכת משאבת ואקום דינאמית (כולל משאבות ואקום, שסתומי סולנואיד ומדדי ואקום וכו '. ). ניתן להתאים את אורך צינור גמיש בודד VI בהתאם לדרישות המשתמש.
11. סוגי חיבור נוראים: ניתן לבחור סוג חיבור כידון ואקום (VBC) וחיבור מרותך. סוג ה- VBC אינו זקוק לטיפול מבודד באתר.
