מערכות קירור החנקן הנוזלי נמצאות בשימוש נרחב בתעשיית המוליכים למחצה והשבבים, כולל תהליך של,
- הטכנולוגיה של אפיטקסיה מולקולרית קרן (MBE)
- בדיקת השבב לאחר חבילת COB
מוצרים קשורים
סדרת צינורות מבודדים בוואקום
סדרת צינורות גמישים מבודדים בוואקום
מערכת משאבת ואקום דינמית
סדרת מפרידי פאזות מבודדים בוואקום
סדרת שסתומים מבודדים בוואקום
ציוד תמיכה למערכת צנרת
אפיטקסיה מולקולרית קרן
הטכנולוגיה של Epitaxy קרן מולקולרית (MBE) פותחה בשנות ה-50 להכנת חומרי סרט דק מוליכים למחצה באמצעות טכנולוגיית אידוי ואקום. עם התפתחות טכנולוגיית ואקום אולטרה-גבוה, היישום של הטכנולוגיה הורחב לתחום מדעי המוליכים למחצה.
HL הבחינה בביקוש של מערכת קירור חנקן נוזלי MBE, עמוד שדרה טכני מאורגן כדי לפתח בהצלחה מערכת מיזוג חנקן נוזלי MBE מיוחדת עבור טכנולוגיית MBE ומערכת שלם של מערכת צנרת מבודדת ואקום, אשר שימשה בהרבה מפעלים, אוניברסיטאות ומכוני מחקר. .
הבעיות הנפוצות של תעשיית המוליכים למחצה והשבבים כוללות,
- הלחץ של חנקן נוזלי לתוך ציוד מסוף (MBE). מנע עומס יתר בלחץ מציוד מסוף (MBE) נזק.
- בקרות כניסת ויציאת נוזל קריוגני מרובים
- הטמפרטורה של חנקן נוזלי לתוך ציוד קצה
- כמות סבירה של פליטות גז קריוגני
- (אוטומטי) החלפת קווים ראשיים וענפים
- התאמת לחץ (הפחתת) ויציבות של VIP
- ניקוי הלכלוכים ושאריות הקרח האפשריות מהמיכל
- זמן מילוי של ציוד הנוזל המסוף
- קירור מקדים של צינור
- התנגדות נוזלים במערכת VIP
- בקרת אובדן חנקן נוזלי במהלך שירות לא רציף של המערכת
צינור מבודד ואקום (VIP) של HL בנוי לפי קוד ASME B31.3 Pressure Piping כסטנדרט. ניסיון הנדסי ויכולת בקרת איכות להבטחת יעילות וחסכוניות מפעל הלקוח.
פתרונות
HL Cryogenic Equipment מספקת ללקוחות את מערכת צנרת מבודדת ואקום כדי לעמוד בדרישות ובתנאים של תעשיית המוליכים למחצה והשבבים:
1. מערכת ניהול איכות: ASME B31.3 קוד צנרת לחץ.
2. מפריד פאזות מיוחד עם כניסות ויציאה של נוזל קריוגניים מרובים עם פונקציית בקרה אוטומטית עונה על הדרישה של פליטת גזים, חנקן נוזלי ממוחזר וטמפרטורה של חנקן נוזלי.
3. תכנון פליטה מתאים ובזמן מבטיח שציוד קצה עובד תמיד במסגרת ערך הלחץ המתוכנן.
4. מחסום הגז-נוזל ממוקם בצינור VI האנכי בקצה צינור VI. מחסום גז-נוזל משתמש בעקרון איטום הגז כדי לחסום את החום מקצה צינור VI לתוך צינור VI, ולהפחית ביעילות את אובדן החנקן הנוזלי במהלך שירות לא רציף ולסירוגין של המערכת.
צנרת 5.VI נשלטת על ידי סדרת שסתום מבודד ואקום (VIV): כולל שסתום סגירה מבודד ואקום (פניאומטי), שסתום סימון מבודד ואקום, שסתום ויסות מבודד ואקום וכו'. ניתן לשלב סוגים שונים של VIV כדי לשלוט ב-VIP כמו דָרוּשׁ. VIV משולב עם ייצור VIP ביצרן, ללא טיפול מבודד באתר. ניתן להחליף את יחידת האיטום של VIV בקלות. (HL מקבלת את מותג השסתומים הקריוגניים שמיועדים על ידי הלקוחות, ולאחר מכן מייצרת שסתומים מבודדים בוואקום על ידי HL. ייתכן שמותגים ודגמים מסוימים של שסתומים לא יוכלו להפוך לשסתומים מבודדים בוואקום).
6. ניקיון, אם יש דרישות נוספות לניקיון פני הצינור הפנימי. מומלץ ללקוחות לבחור בצינורות מפלדת אל חלד BA או EP כצינורות פנימיים VIP כדי להפחית עוד יותר את שפיכת הנירוסטה.
7. מסנן מבודד ואקום: נקה את הזיהומים האפשריים ושאריות הקרח מהמיכל.
8. לאחר כיבוי או תחזוקה של מספר ימים או יותר, יש צורך מאוד לקרר מראש את ה-VI Piping וציוד הקצה לפני כניסת נוזל קריוגני, כדי למנוע סיגי קרח לאחר כניסת נוזל קריוגני ישירות ל-VI Piping וציוד קצה. יש להתייחס לתפקוד הקירור המקדים בתכנון. הוא מספק הגנה טובה יותר עבור ציוד קצה וציוד תמיכה בצנרת VI כגון שסתומים.
9. חליפה למערכת צנרת דינמית וסטטית מבודדת ואקום (גמישה).
10. מערכת צנרת מבודדת ואקום דינמית (גמישה): מורכבת מצינורות VI גמישים ו/או צינורות VI, צינורות מגשר, מערכת שסתומים מבודדים ואקום, מפרידי פאזות ומערכת משאבת ואקום דינמית (כולל משאבות ואקום, שסתומי סולנואיד ומדדי ואקום וכו'. ). ניתן להתאים את האורך של צינור גמיש VI יחיד בהתאם לדרישות המשתמש.
11. סוגי חיבור שונים: ניתן לבחור סוג חיבור כידון ואקום (VBC) וחיבור מרותך. סוג VBC אינו זקוק לטיפול מבודד במקום.
