תקציר של מערכת צנרת מבודדת ואקום ביישום קריוגני של תעשיית השבבים

ייצור ועיצוב מערכת צנרת מבודדת ואקום להעברת חנקן נוזלי הם באחריות הספק.עבור פרויקט זה, אם לספק אין את התנאים למדידה באתר, שרטוטי כיוון הצנרת צריכים להיות מסופקים על ידי הבית.לאחר מכן הספק יתכנן מערכת צנרת VI עבור תרחישי חנקן נוזלי.

הספק ישלים את התכנון הכולל של מערכת הצנרת על ידי מתכננים מנוסים לפי השרטוטים, פרמטרי הציוד, תנאי האתר, מאפייני החנקן הנוזלי וגורמים נוספים שסופקו על ידי המבקש.

תוכן התכנון כולל את סוג אביזרי המערכת, קביעת החומר והמפרט של הצינורות הפנימיים והחיצוניים, תכנון תכנית הבידוד, תכנית החתכים הטרומית, צורת החיבור בין קטעי הצינור, תושבת הצינור הפנימית. , המספר והמיקום של שסתום הוואקום, ביטול אטם הגז, דרישות הנוזל הקריוגני של ציוד הקצה וכו'. יש לאמת תכנית זו על ידי הצוות המקצועי של הדורש לפני הייצור.

התוכן של עיצוב מערכת צנרת מבודדת ואקום הוא רחב, כאן לאפליקציות HASS וציוד MBE בכמה בעיות נפוצות, צ'אט פשוט.

1 2

VI צנרת

מיכל האגירה של חנקן נוזלי הוא בדרך כלל ארוך מציוד HASS Application או MBE.בעוד שהצינור המבודד בוואקום נכנס לבניין בתוך הבית, יש להימנע ממנו באופן סביר בהתאם לפריסת החדר בבניין ולמיקום צינור השדה וצינור האוויר.לכן, הובלת חנקן נוזלי לציוד, לפחות מאות מטרים של צינור.

מכיוון שהחנקן הנוזלי הדחוס עצמו מכיל כמות גדולה של גז, יחד עם מרחק ההובלה, אפילו צינור הוואקום האדיאבטי יפיק כמות גדולה של חנקן בתהליך ההובלה.אם לא נפרק חנקן או שהפליטה נמוכה מכדי לעמוד בדרישות, הדבר יגרום לעמידות גזים ויוביל לזרימה לקויה של חנקן נוזלי, וכתוצאה מכך להפחתה גדולה בקצב הזרימה.

אם קצב הזרימה אינו מספיק, לא ניתן לשלוט בטמפרטורה בתא החנקן הנוזלי של הציוד, מה שעלול להוביל בסופו של דבר לפגיעה בציוד או באיכות המוצר.

לכן, יש צורך לחשב את כמות החנקן הנוזלי המשמש את ציוד הקצה (ציוד HASS Application או MBE).במקביל, מפרטי הצנרת נקבעים בהתאם לאורך ולכיוון הצנרת.

החל ממיכל אגירת חנקן נוזלי, אם הצינור הראשי של הצינור/צינור המבודד בוואקום הוא DN50 (קוטר פנימי φ50 מ"מ), הצינור/צינור הסניף VI שלו הוא DN25 (קוטר פנימי φ25 מ"מ), והצינור בין צינור הענף ציוד הקצה הוא DN15 (קוטר פנימי φ15 מ"מ).אביזרים אחרים למערכת צנרת VI, כולל מפריד שלב, מסיר גז, אוורור גז אוטומטי, שסתום סגירה VI/קריוגני (פניאומטי), שסתום ויסות זרימה פנאומטי VI, שסתום סימון VI/קריוגני, מסנן VI, שסתום הקלה בטיחותי, מערכת טיהור, ומשאבת ואקום וכו'.

3

מפריד שלב מיוחד MBE

לכל מפריד שלב בלחץ רגיל MBE מיוחד יש את הפונקציות הבאות:

1. חיישן מפלס נוזל ומערכת בקרת מפלס נוזלים אוטומטית, ומוצג מייד דרך קופסת בקרה חשמלית.

2. פונקציית הפחתת לחץ: כניסת הנוזל של המפריד מצוידת במערכת עזר מפריד, המבטיחה לחץ חנקן נוזלי של 3-4 בר בצינור הראשי.כאשר נכנסים למפריד השלבים, הפחיתו בהתמדה את הלחץ ל-≤ 1Bar.

3. ויסות זרימת כניסת נוזלים: מערכת בקרת ציפה מסודרת בתוך מפריד השלבים.תפקידו להתאים באופן אוטומטי את כמות צריכת הנוזל כאשר צריכת החנקן הנוזלי עולה או יורדת.יש לכך יתרון של הפחתת תנודת הלחץ החדה הנגרמת על ידי כניסת כמות גדולה של חנקן נוזלי בעת פתיחת השסתום הפניאומטי בכניסה ומניעת לחץ יתר.

4. פונקציית מאגר, הנפח האפקטיבי בתוך המפריד מבטיח זרימה מיידית מקסימלית של המכשיר.

5. מערכת טיהור: זרימת אוויר ואדי מים במפריד לפני מעבר חנקן נוזלי, ופריקה של חנקן נוזלי במפריד לאחר מעבר חנקן נוזלי.

6. פונקציית הקלה אוטומטית בלחץ יתר: הציוד, כאשר הוא עובר בהתחלה דרך חנקן נוזלי או בנסיבות מיוחדות, מוביל לעלייה בגיזוז חנקן נוזלי, מה שמוביל ללחץ יתר מיידי של המערכת כולה.מפריד השלבים שלנו מצויד בשסתום הקלה בטיחותי וקבוצת שסתומי הקלה בטיחותיים, שיכולים להבטיח בצורה יעילה יותר את יציבות הלחץ במפריד ולמנוע פגיעה בציוד ה-MBE מלחץ מופרז.

7. תיבת בקרה חשמלית, תצוגה בזמן אמת של רמת הנוזל וערך הלחץ, יכולה להגדיר את רמת הנוזל במפריד והחנקן הנוזלי לכמות יחסי הבקרה.באותו הזמן.בשעת חירום, בלימה ידנית של מפריד נוזלי הגז לתוך שסתום בקרת הנוזל, לבטיחות אנשי האתר והציוד לספק ערבות.

4

Degasser מרובה ליבות עבור יישומי HASS

מיכל אחסון חנקן נוזלי חיצוני מכיל כמות גדולה של חנקן מכיוון שהוא מאוחסן ומועבר בלחץ.במערכת זו מרחק הובלת הצינור ארוך יותר, יש יותר מרפקים והתנגדות גדולה יותר, מה שיגרום לגיזוז חלקי של חנקן נוזלי.צינור מבודד ואקום הוא הדרך הטובה ביותר להובלת חנקן נוזלי כיום, אך דליפת חום היא בלתי נמנעת, מה שתוביל גם לגיזוז חלקי של חנקן נוזלי.לסיכום, חנקן נוזלי מכיל כמות גדולה של חנקן, מה שמוביל ליצירת עמידות לגזים, וכתוצאה מכך זרימת החנקן הנוזלי אינה חלקה.

ציוד פליטה על צינור מבודד ואקום, אם אין התקן פליטה או נפח פליטה לא מספיק, יוביל לעמידות גזים.לאחר יצירת התנגדות הגזים, יכולת העברת החנקן הנוזלי תקטן מאוד.

ה-Multi-core Degasser שתוכנן באופן בלעדי על ידי החברה שלנו יכול להבטיח את שחרור החנקן מצינור החנקן הנוזלי הראשי במידה המקסימלית ולמנוע היווצרות עמידות לגזים.ול-Multi-core Degasser יש מספיק נפח פנימי, יכול לשחק את התפקיד של מיכל אחסון חיץ, יכול לענות ביעילות על הצרכים של הזרימה המיידית המקסימלית של צינור הפתרון.

מבנה ריבוי ליבות ייחודי בעל פטנט, קיבולת פליטה יעילה יותר מאשר סוגי המפרידים האחרים שלנו.

5
בהמשך למאמר הקודם, ישנן כמה סוגיות שיש לקחת בחשבון בעת ​​תכנון פתרונות עבור מערכת צנרת מבודדת ואקום עבור יישומים קריוגניים בתעשיית השבבים.

1

שני סוגים של מערכת צנרת מבודדת ואקום

ישנם שני סוגים של מערכת צנרת מבודדת ואקום: מערכת VI סטטית ומערכת שאיבת ואקום דינמית.

מערכת VI סטטית פירושה שלאחר ייצור כל צינור במפעל, שואבים אותו לדרגת הוואקום שצוינה על יחידת השאיבה ואטומים.בהתקנת השטח ובכניסה לשימוש, אין צורך בפינוי מחודש של פרק זמן מסוים לאתר.

היתרון של Static VI System הוא עלויות תחזוקה נמוכות.לאחר שמערכת הצנרת מופעלת, נדרשת תחזוקה מספר שנים לאחר מכן.מערכת ואקום זו מתאימה למערכות שאינן דורשות דרישות קירור גבוהות ומקומות פתוחים לתחזוקה במקום.

החיסרון של מערכת VI סטטית הוא שהוואקום פוחת עם הזמן.מכיוון שכל החומרים משחררים גזי עקבות כל הזמן, שנקבעים לפי התכונות הפיזיקליות של החומר.החומר במעיל של VI Pipe יכול להפחית את כמות הגז המשתחררת בתהליך, אך לא ניתן לבודד לחלוטין.זה יוביל לוואקום של סביבת הוואקום האטומה, יהיה נמוך יותר ויותר, צינור בידוד ואקום יחליש בהדרגה את יכולת הקירור.

מערכת שאיבת ואקום דינמית פירושה שלאחר יצירת הצינור ויצירתו, הצינור עדיין פונה במפעל לפי תהליך איתור הנזילות, אך השואב אינו אטום לפני המסירה.לאחר השלמת התקנת השטח, יחוברו שכבות הוואקום של כל הצינורות ליחידה אחת או יותר באמצעות צינורות נירוסטה, ותשמש משאבת ואקום קטנה ייעודית לשאיבת הצינורות בשטח.למשאבת ואקום מיוחדת מערכת אוטומטית לניטור הוואקום בכל עת, ושואבת לפי הצורך.המערכת פועלת 24 שעות ביממה.

החיסרון של מערכת שאיבת ואקום דינמית הוא שצריך לשמור על הוואקום באמצעות חשמל.

היתרון של מערכת שאיבת ואקום דינמית הוא שמידת הוואקום יציבה מאוד.הוא משמש עדיפות בסביבה הפנימית ובדרישות ביצועי ואקום של פרויקטים גבוהים מאוד.

מערכת שאיבת הוואקום הדינמית שלנו, כל משאבת ואקום מיוחדת משולבת הניידת כדי להבטיח שהציוד ישאב, פריסה נוחה וסבירה כדי להבטיח את השפעת הוואקום, איכות אביזרי הוואקום כדי להבטיח את איכות הוואקום.

לפרויקט MBE, כי הציוד נמצא בחדר הנקי, והציוד פועל לאורך זמן.רוב מערכת הצנרת המבודדת בוואקום נמצאת בחלל הסגור בשכבת הביניים של החדר הנקי.אי אפשר ליישם את תחזוקת הוואקום של מערכת הצנרת בעתיד.תהיה לכך השפעה רצינית על תפעול המערכת לטווח ארוך.כתוצאה מכך, פרויקט MBE מעסיק כמעט את כל מערכות שאיבות ואקום דינמיות.

2

מערכת שחרור לחץ

מערכת שחרור הלחץ של הקו הראשי מאמצת את קבוצת שסתום הקלה בטיחותית.קבוצת שסתומי הקלה בטיחותית משמשת כמערכת הגנה בטיחותית בעת לחץ יתר, לא ניתן לכוונן צנרת VI בשימוש רגיל

שסתום הקלה בטיחותי הוא מרכיב מפתח כדי להבטיח שמערכת הצנרת לא תהיה בלחץ יתר, פעולה בטוחה, ולכן היא חיונית בפעולת הצנרת.אבל את שסתום הבטיחות לפי התקנה, יש לשלוח לבדיקה כל שנה.כאשר נעשה שימוש בשסתום בטיחות אחד והשני מוכן, כאשר שסתום בטיחות אחד מוסר, שסתום הבטיחות השני עדיין נמצא במערכת הצנרת כדי להבטיח את פעולתו הרגילה של הצנרת.

קבוצת שסתומי הקלה בטיחותיים מכילה שני שסתומי הקלה DN15, אחד לשימוש ואחד למצב המתנה.בפעולה רגילה, שסתומי הקלה בטיחותיים אחד בלבד מחוברים למערכת הצנרת VI ופועלים כרגיל.שאר שסתומי ההקלה הבטיחותיים מנותקים מהצינור הפנימי וניתנים להחלפה בכל עת.שני שסתומי הבטיחות מחוברים ומנותקים דרך מצב החלפת השסתום הצדי.

קבוצת שסתום ההקלה הבטיחותית מצוידת במד לחץ לבדיקת לחץ מערכת הצנרת בכל עת.

קבוצת שסתום ההקלה הבטיחותית מסופקת עם שסתום פריקה.ניתן להשתמש בו כדי לפרוק את האוויר בצינור בעת טיהור, וניתן לפרוק חנקן כאשר מערכת החנקן הנוזלי פועלת.

dav

ציוד קריוגני של HL

HL Cryogenic Equipment אשר נוסד בשנת 1992 הוא מותג המזוהה עם Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company בסין.HL Cryogenic Equipment מחויבת לתכנון וייצור של מערכת צנרת קריוגנית מבודדת ואקום גבוה וציוד תמיכה נלווה.

בעולם המשתנה במהירות של היום, אספקת טכנולוגיה מתקדמת תוך מיקסום חיסכון בעלויות ללקוחות היא משימה מאתגרת.במשך 30 שנה, חברת HL Cryogenic Equipment כמעט בכל הציוד והתעשייה הקריוגנית היא בעלת זירת יישומים עמוקה יותר, צברה ניסיון עשיר ואמין, וחוקרת ומתאמצת ללא הרף להתעדכן בהתפתחויות האחרונות בכל תחומי החיים, ומספקת ללקוחות פתרונות חדשים, פרקטיים ויעילים, הופכים את הלקוחות שלנו לתחרותיים יותר בשוק.

For more information, please visit the official website www.hlcryo.com, or email to info@cdholy.com .

4


זמן פרסום: 25 באוגוסט 2021