פרויקט ה- Chip MBE הושלם בשנים האחרונות

טֶכנוֹלוֹגִיָה

אפיטקסיה של קרן מולקולרית, או MBE, היא טכניקה חדשה לגידול סרטים דקים באיכות גבוהה של גבישים על מצעי קריסטל. בתנאי ואקום גבוה במיוחד, על ידי תנור החימום מצויד בכל מיני רכיבים נדרשים ומייצרים קיטור, דרך חורים שנוצרו לאחר התנגשות קרן אטומית או קרן מולקולרית, הזרקה ישירה לטמפרטורה המתאימה של מצע הקריסטל היחיד, תוך שליטה על קרן מולקולרית כדי המצע סורק בו זמנית, הוא יכול ליצור את המולקולות או האטומים בשכבות יישור קריסטל ליצירת סרט דק על "צמיחה" מצע.

לצורך הפעולה הרגילה של ציוד MBE, נדרשים להועבר ברציפות ויציבות טוהר, לחץ נמוך וחנקן נוזלי נוזל אולטרה-ניקוי. באופן כללי, למיכל המספק חנקן נוזלי יש לחץ תפוקה בין 0.3MPA ל- 0.8MPA.liquid חנקן ב -196 ℃ מאבד בקלות לחנקן במהלך הובלת צינור. ברגע שהחנקן הנוזלי עם יחס נוזלי גז של בערך 1: 700 גזז בצינור, הוא יתפוס כמות גדולה של שטח זרימת חנקן נוזלי ויפחית את הזרימה הרגילה בקצה צינור החנקן הנוזל. בנוסף, במיכל אחסון החנקן הנוזלי, סביר להניח שיש פסולת שלא נוקתה. בצינור החנקן הנוזלי, קיומו של אוויר רטוב יוביל גם לייצור סיגים קרח. אם זיהומים אלה ישוחררו לציוד, זה יגרום נזק בלתי צפוי לציוד.

לפיכך, החנקן הנוזלי במיכל האחסון החיצוני מועבר לציוד MBE בסדנה ללא אבק עם יעילות גבוהה, יציבות ונקייה, ולחץ נמוך, ללא חנקן, ללא זיהומים, 24 שעות ללא הפרעה, מערכת בקרת תחבורה כזו היא מוצר מוסמך.

TCM (4)
TCM (1)
TCM (3)

תואם ציוד MBE

מאז 2005, ציוד קריוגני HL (HL Cryo) מיטוב ושיפור מערכת זו ושיתוף פעולה עם יצרני ציוד MBE בינלאומיים. יצרני ציוד MBE, כולל DCA, רבר, מנהלים קשרים שיתופיים עם החברה שלנו. יצרני ציוד MBE, כולל DCA ורבר, שיתפו פעולה במספר גדול של פרויקטים.

Riber SA הוא ספק עולמי מוביל של מוצרי Epitaxy Beam Molecular (MBE) ושירותים קשורים למחקר מוליכים למחצה ויישומים תעשייתיים מורכבים. מכשיר ה- MBE Riber יכול להפקיד שכבות דקיקות מאוד של חומר על המצע, עם פקדים גבוהים מאוד. ציוד הוואקום של ציוד קריוגני HL (HL Cryo) מצויד ב- Raber SA הציוד הגדול ביותר הוא Riber 6000 והקטן ביותר הוא קומפקטי 21. הוא במצב טוב והוכר על ידי הלקוחות.

DCA הוא ה- MBE המוביל בעולם. מאז 1993 בוצע פיתוח שיטתי של טכניקות חמצון, חימום מצע נוגד חמצון ומקורות נוגדי חמצון. מסיבה זו, מעבדות מובילות רבות בחרו בטכנולוגיית תחמוצת DCA. מערכות MBE מוליכים למחצה מורכבים משמשים ברחבי העולם. מערכת החנקן הנוזלית של VJ נוזלית של ציוד קריוגני HL (HL Cryo) וציוד ה- MBE של דגמים מרובים של DCA הם בעלי חוויה תואמת בפרויקטים רבים, כמו דגם P600, R450, SGC800 וכו '.

TCM (2)

טבלת ביצועים

המכון לשנגחאי לפיזיקה טכנית, האקדמיה הסינית למדעים
המכון ה -11 של התאגיד הטכנולוגי של סין אלקטרוניקה
המכון למוליכים למחצה, האקדמיה הסינית למדעים
Huawei
Alibaba Damo Academy
PowerTech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

זמן הודעה: מאי -26-2021

השאר את ההודעה שלך