פרויקט Chip MBE הושלם בשנים האחרונות

טֶכנוֹלוֹגִיָה

אפיטקסיה של קרן מולקולרית, או MBE, היא טכניקה חדשה לגידול שכבות דקות באיכות גבוהה של גבישים על גבישים. בתנאי ואקום גבוה במיוחד, תנור חימום מצויד בכל מיני רכיבים נדרשים ויוצר קיטור. לאחר קולימציה של קרן אטומית או מולקולרית, הזרקה ישירה של קיטור לטמפרטורה המתאימה של מצע הגביש היחיד, תוך שליטה בסריקת קרן המולקולרית למצע, ובמקביל לגרום למולקולות או לאטומים בשכבות יישור הגביש ליצור שכבה דקה על גביש.

לצורך פעולה תקינה של ציוד MBE, נדרש חנקן נוזלי בעל טוהר גבוה, לחץ נמוך ונקי במיוחד שיועברו באופן רציף ויציב לתא הקירור של הציוד. באופן כללי, מיכל המספק חנקן נוזלי בעל לחץ יציאה בין 0.3MPa ל-0.8MPa. חנקן נוזלי בטמפרטורה של -196℃ מתאדה בקלות לחנקן במהלך הובלת הצינור. לאחר שהחנקן הנוזלי ביחס גז-נוזל של כ-1:700 מתגאז בצינור, הוא יתפוס שטח גדול של זרימת חנקן נוזלי ויפחית את הזרימה הרגילה בקצה צינור החנקן הנוזלי. בנוסף, במיכל אחסון החנקן הנוזלי סביר להניח שיהיו פסולת שלא נוקו. בצינור החנקן הנוזלי, נוכחות אוויר רטוב תוביל גם ליצירת סיגי קרח. אם זיהומים אלה ייפלטו לציוד, הדבר יגרום נזק בלתי צפוי לציוד.

לכן, החנקן הנוזלי במיכל האחסון החיצוני מועבר לציוד MBE בסדנה נטולת אבק ביעילות גבוהה, יציבות וניקיון, ובלחץ נמוך, ללא חנקן, ללא זיהומים, 24 שעות ביממה ללא הפרעה, מערכת בקרת הובלה כזו היא מוצר מוסמך.

טק
טק
טק

ציוד MBE תואם

מאז 2005, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) עוסקת בייעול ושיפור מערכת זו ומשתפת פעולה עם יצרני ציוד MBE בינלאומיים. יצרני ציוד MBE, כולל DCA ו-REBER, מקיימים יחסי שיתוף פעולה עם חברתנו. יצרני ציוד MBE, כולל DCA ו-REBER, שיתפו פעולה במספר רב של פרויקטים.

Riber SA היא ספקית עולמית מובילה של מוצרי אפיטקסיה של קרן מולקולרית (MBE) ושירותים נלווים למחקר מוליכים למחצה מורכבים ויישומים תעשייתיים. מכשיר ה-MBE של Riber יכול להפקיד שכבות דקות מאוד של חומר על המצע, עם בקרות גבוהות מאוד. ציוד הוואקום של HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) מצויד ב-Riber SA. הציוד הגדול ביותר הוא Riber 6000 והקטן ביותר הוא Compact 21. הוא במצב טוב וזכה להכרה מצד הלקוחות.

DCA הוא טכנולוגיה מובילה בעולם של MBE תחמוצת. מאז 1993, מתבצע פיתוח שיטתי של טכניקות חמצון, חימום מצעים נוגדי חמצון ומקורות נוגדי חמצון. מסיבה זו, מעבדות מובילות רבות בחרו בטכנולוגיית תחמוצת DCA. מערכות MBE מוליכים למחצה מרוכבים נמצאות בשימוש ברחבי העולם. מערכת הסירקולציה של חנקן נוזלי VJ של HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) וציוד MBE של דגמים רבים של DCA בעלי ניסיון מקביל בפרויקטים רבים, כגון הדגמים P600, R450, SGC800 וכו'.

טק

טבלת ביצועים

מכון שנגחאי לפיזיקה טכנית, האקדמיה הסינית למדעים
המכון ה-11 של תאגיד טכנולוגיית האלקטרוניקה של סין
מכון מוליכים למחצה, האקדמיה הסינית למדעים
וואווי
אקדמיית עליבאבא דאמו
פאוורטק טכנולוגיה בע"מ
דלתא אלקטרוניקה בע"מ
פוטוניקה של סוז'ו אוורברייט

זמן פרסום: 26 במאי 2021

השאר את הודעתך