פרויקט ה-Chip MBE הושלם בשנים האחרונות

טֶכנוֹלוֹגִיָה

אפיטקסיית אלומה מולקולרית, או MBE, היא טכניקה חדשה לגידול סרטים דקים באיכות גבוהה של גבישים על מצעי גביש.בתנאי ואקום גבוה במיוחד, על ידי תנור החימום מצויד בכל מיני רכיבים נדרשים ומייצרים קיטור, דרך חורים שנוצרו לאחר קולימציה של קרן אטומית או מולקולרית, הזרקה ישירה לטמפרטורה המתאימה של מצע הקריסטל הבודד, שליטה על קרן מולקולרית כדי המצע סורק בו-זמנית, הוא יכול לגרום למולקולות או האטומים בשכבות יישור גבישים ליצור סרט דק על המצע "לצמוח".

לפעולה רגילה של ציוד MBE, נדרש טוהר גבוה, לחץ נמוך וחנקן נוזלי נקי במיוחד שיועבר באופן רציף ויציב אל תא הקירור של הציוד.באופן כללי, למיכל המספק חנקן נוזלי יש לחץ פלט בין 0.3MPa ל-0.8MPa. חנקן נוזלי ב-196℃ מתאדה בקלות לחנקן במהלך הובלת צינור.לאחר שהחנקן הנוזלי עם יחס גז-נוזל של כ-1:700 יגוז בצנרת, הוא יתפוס כמות גדולה של שטח זרימת חנקן נוזלי ויקטין את הזרימה הרגילה בקצה צינור החנקן הנוזלי.בנוסף, במיכל אגירת החנקן הנוזלי, סביר להניח שיהיו פסולת שלא נוקה.בצינור החנקן הנוזלי, קיומו של אוויר רטוב יוביל גם ליצירת סיגי קרח.אם זיהומים אלו יוזרמו לציוד, הדבר יגרום לנזק בלתי צפוי לציוד.

לכן, החנקן הנוזלי במיכל האגירה החיצוני מועבר לציוד MBE בבית המלאכה ללא אבק ביעילות גבוהה, יציבות ונקיה, והלחץ הנמוך, ללא חנקן, ללא זיהומים, 24 שעות ללא הפרעה, מערכת בקרת הובלה כזו היא מוצר מוסמך.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

ציוד MBE תואם

מאז 2005, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) מייעלת ומשפרת מערכת זו ומשתפת פעולה עם יצרני ציוד MBE בינלאומיים.ליצרני ציוד MBE, כולל DCA, REBER, יש קשרי שיתוף פעולה עם החברה שלנו.יצרני ציוד MBE, כולל DCA ו-REBER, שיתפו פעולה במספר רב של פרויקטים.

Riber SA היא ספקית גלובלית מובילה של מוצרי אפיטקסיה מולקולרית (MBE) ושירותים נלווים למחקר מוליכים למחצה מורכבים ויישומים תעשייתיים.מכשיר Riber MBE יכול להפקיד שכבות דקות מאוד של חומר על המצע, עם בקרות גבוהות מאוד.ציוד הוואקום של HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) מצויד ב- Riber SA הציוד הגדול ביותר הוא Riber 6000 והקטן ביותר הוא קומפקט 21. הוא במצב טוב וזכה להכרה על ידי לקוחות.

DCA הוא MBE התחמוצת המוביל בעולם.מאז 1993, בוצע פיתוח שיטתי של טכניקות חמצון, חימום מצע נוגד חמצון ומקורות נוגדי חמצון.מסיבה זו, מעבדות מובילות רבות בחרו בטכנולוגיית תחמוצת DCA.מערכות MBE מוליכים למחצה מרוכבים נמצאים בשימוש ברחבי העולם.מערכת VJ במחזור החנקן הנוזלי של HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) וציוד MBE של דגמים מרובים של DCA בעלי ניסיון תואם בפרויקטים רבים, כגון דגם P600, R450, SGC800 וכו'.

tcm (2)

טבלת ביצועים

מכון שנחאי לפיזיקה טכנית, האקדמיה הסינית למדעים
המכון ה-11 של תאגיד טכנולוגיה אלקטרוניקה בסין
מכון מוליכים למחצה, האקדמיה הסינית למדעים
Huawei
אקדמיית עליבאבא DAMO
Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

זמן פרסום: 26 במאי 2021